檢查凈化車間工作正常所進行的各項測試中，其中一項就是對室內(nèi)氣流的檢查。這是整個測試程序的組成部分。為了稀釋或消除室內(nèi)的懸浮污染，從而防止污染在室內(nèi)的積累，室內(nèi)必須有充分的氣流流動。所以對氣流必須進行檢測。
在紊流潔凈室中，風(fēng)的輸送和混合都是紊流方式進行的。為確保污染物被清楚，無塵車間的各個部分必須均實現(xiàn)良好的空氣混合。
在單向流凈化車間中，為保證關(guān)鍵區(qū)域達到最潔凈的水平，其送風(fēng)直接來自高效過濾器。
凈化車間垂直層流式方向要保持均一氣流必須：
?。?）吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；
?。?）地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25——0.5m/s之間
影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點，亦應(yīng)列入考慮因素。
凈化車間一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。
凈化車間內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備怖局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。
對潔凈空氣流組織的一般要求如下：
1.送入的潔凈氣流能盡快均勻分布或擴散到整個潔凈區(qū)，以沖淡室內(nèi)污染源散發(fā)的塵和菌對空氣的污染，維持生產(chǎn)環(huán)境所要求的潔凈度。
2.能快捷地把污染源散發(fā)到無塵車間的塵和菌從室內(nèi)排走，避免或減少渦流和死角，縮短塵、菌在室內(nèi)滯留時間，以減小與產(chǎn)品接觸的幾率。
3.兼顧室內(nèi)溫、濕度均勻性等空調(diào)送風(fēng)的要求及工作人員的舒適要求。 由于與一般空調(diào)房間的主要任務(wù)不同，所以氣流組織的方案也必然有所差異。
對于舒適性空調(diào)房間和普通溫、濕度精度的生產(chǎn)車間，考慮其空調(diào)氣流組織方案的基點是采用盡可能大的送風(fēng)溫差，以便減小送風(fēng)量，使系統(tǒng)設(shè)備、管道都更小，初投資和運行費用更低。所以通常夏季采用機器露點送風(fēng)。
因為送入空氣與室溫溫差大，為避免室內(nèi)生活區(qū)、工作區(qū)溫度不均勻或有吹冷風(fēng)、吹熱風(fēng)的不舒適感，所以無論是采用側(cè)送風(fēng)口或是頂送散流器，都要求其出風(fēng)有較強的紊流系數(shù)，具有一定的引射能力，以利于吸收了室內(nèi)熱濕負荷的空氣被卷吸及摻混到送風(fēng)氣流中，使送風(fēng)氣流的溫、濕度盡快地接近于室內(nèi)設(shè)計溫、濕度。
當(dāng)送風(fēng)氣流以回流的狀態(tài)進入生活區(qū)、工作區(qū)時，其溫、濕度從工藝要求來看，已進入控制精度范圍；從人的感受來說也是柔和和可接受的。普通空調(diào)房間側(cè)送側(cè)回、送風(fēng)形成貼附射流就是空調(diào)房間典型的氣流組織方案。
空調(diào)房間氣流組織的特點是除了普通存在送風(fēng)卷吸面上升的氣流外，還有很多的渦流。這種上升氣流與塵、菌受重力作用向下運動的方向相逆，塵、菌將隨氣流揚起，一些顆粒較大的塵粒將明顯滯后于氣流，在室內(nèi)滯留時間將更長。渦流也助長了塵、菌在室內(nèi)的回旋，而不是快捷地隨氣流從室內(nèi)離去。這都是與潔凈空氣流組織的原則不同所致。
無塵車間的氣流流型無塵車間的氣流組織或氣流形態(tài)主要分為兩類。一類是非單向流，以往稱之為常規(guī)流型或亂流流型；另一類是單向流，以往習(xí)慣稱之為層流流型。 往往無塵車間內(nèi)不同區(qū)域有不同的潔凈度要求，因此常常將前兩類流型組合在一起。要求高的部位采用單向流，室內(nèi)其他地方采用非單向流。
這種氣流組織方式，稱為混合流型。例如常風(fēng)的灌封車間內(nèi)僅在灌封部位上方設(shè)置所謂潔凈罩，向下方送出單向氣流。而車間大部分仍采用上送下回的非單向流送回風(fēng)方式。 此外還有一種較為特殊的氣流組織形式，稱之矢流或輻射流，也有稱其為斜流流型。它應(yīng)屬于非單向流，但又有比較接近于水平單向流的效果，而又遠較單向流在構(gòu)造上簡單。特別是在美國的藥廠采用較普遍。 非單向流適用于藥廠的大部分無塵車間。其送、回風(fēng)氣流組織形式以頂送、側(cè)下回最為典型。
盡管頂送高效過濾器風(fēng)口帶有孔板散流器，有助于送風(fēng)車間的潔凈氣流的擴散，但在高效過濾器風(fēng)口的正下方，處于所謂送風(fēng)主流區(qū)的中央，它的潔凈度一般明顯高于周圍。而周圍區(qū)域是送風(fēng)進入室內(nèi)后，不斷卷吸入室內(nèi)的污染空氣、氣流截面不斷擴大所覆蓋的部分，至于在相鄰風(fēng)口之間或房間四角等送風(fēng)氣流未能覆蓋部位的潔凈度更會差些。
